MWPCVD相关论文
在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光......
建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究．
A microwave plasma chemical ......
采用微波等离子化学气相沉积法(MWPCVD)在钼衬底上制备了一种新颖的在碳管顶端生产石墨烯的复合结构。采用扫描电子显微镜(SEM......
微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是一种新的薄膜制备方法,该文在自行研制的水冷反应室式MWPCVD装置中用这种方法进行制备金刚石......
利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜.通过SEM和拉曼光谱表征,讨论了催化剂厚度、制备温度、......
Aligned carbon nanotubes (CNTs) were prepared on Ni-coated Ni substrate by microwave plasma chemical vapor deposition (M......
采用微波等离子体化学气相沉积方法（ＭＷＰＣＶＤ），以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英（ＳｉＯ２）衬底表面，首次在等离子体预处理中，无衬底负偏压条件下，生长出金刚石晶粒。通......
采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在ＣＨ４／Ｈ２，ＣＯ／Ｈ２和（ＣＨ４＋ＣＯ）／Ｈ２气体体系下合成了金刚石薄膜。结果表明，所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较......
在甲烷和氢气的混合系统中，利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法，在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜．利用场发射扫描电子显微镜......
用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前，采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢-氧等离子体对WC-Co硬质合金(YG6)基体表......
综述了微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD:Microwave Plasma Chenical Vapor Deposi-tion)新技术在人工合成金刚石方面的最新工作;......
在不同预处理条件的不锈钢衬底上，利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜，并对其场发......
本文采用微波等离子体化学气相沉积方法，以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英衬底表面，首次在等离子体预处理中无衬底负偏压条件下的生长出金刚石晶......
